光伏，即光伏发电系统，是利用半导体材料的光伏效应，将太阳辐射能转化为电能的一种发电系统。光伏发电系统的能量来源于取之不尽、用之不竭的太阳能，是一种清洁、安全和可再生的能源。光伏发电过程不污染环境，不破坏生态。
真空泵为光伏设备的关键部件之一。
光伏电池主要分为四大流程：硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。
真空泵主要应用于硅片拉晶，电池片高方阻扩散（低压扩散炉）和PVD、PECVD镀膜工艺，组件层压环节等。
