半导体是指在常温下导电性能介于绝缘体与导体之间的材料。常见的半导体包括硅、锗等元素半导体及砷化镓、氮化镓等化合物半导体。作为诸多电子产品的核心，半导体行业在支撑信息产业发展、保障国家安全、促进国民经济增长的过程中起到了基础性、战略性的作用。
半导体工业是真空泵非常重要的应用领域，是当前主要的增长动力。目前真空泵已经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中，包括刻蚀、镀膜、扩散等等。为了将制 造过程控制在更小的尺寸上，越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体 制造过程步骤。为了实现这一点，半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。 随着功能和电路尺寸的减小，半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加，从而导致 真空设备需求的增加。此外，小型化还需要新的制造技术，如多模和EUV光刻技术， 这将进一步推动半导体制造商采用真空系统。
